抵抗加熱式の真空蒸着は最も一般的な真空蒸着技術ですが、成膜のスピードが比較的早く、また金属膜作成に最も適した蒸着方式です。代表的な蒸着金属はアルミニウムで、ガラス基板やプラスチック成型品の表面にデポジションを行い更にその上に電子ビーム蒸着にてSiO2やTiO2等の酸化膜をコートしてリフレクター等の高反射ミラーとして利用されています。