電子ビーム蒸着加工

電子ビーム蒸着加工の最も代表的な例がオプティカルコーティングです。誘電体多層膜加工品はオプトエレクトロニクス機器の中核部品としてCCDデバイス、液晶表示デバイス、レーザー機器、光通信部品、センサー部品等に利用されております。

●反射防止膜付ITO蒸着膜製品
 ●光学多層チップカット製品
 ●液晶プロジェクター用誘電体多層膜コート製品
 ●傾斜膜
●樹脂製光学部品への誘電体多層膜コーティング

ITO膜上に保護膜として誘電体多層反射防止膜をコーティングした高光透過性のITO膜です。客先仕様に合わせて使用する波長域に最も適した反射防止膜加工を施すことが可能です。更にITO膜の上に銅やニッケルの金属を密着性良くコーティングすることも出来ますので、ガラス表面に電極付を必要とするセンサー類にも適しています。

◆商品説明図

◆仕　様

●透明導電膜		蒸着膜ITO
●保護膜		誘電体多層膜反射防止膜
●透過率		90％以上
●抵抗値		25～50Ω/cm²

◆用　途

指紋認証ユニット、太陽電池、各種ディスプレイ

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光学多層膜をコーティングしたガラス基板を所定の寸法にスクライブカット又はダイシングカットのチップカットを施した製品です。客先仕様に合わせた寸法カットを行っています。カット寸法は3mm程度の小型チップ品から大型チップ品まで任意のサイズが可能です。

◆商品説明図

◆仕　様

●カット方法		スクライブカット、ダイシングカット
●カット寸法		±0.05mm
●カットロット		数百個から対応可

◆用　途

光ピックアップ、汎用センサー、車載電装、スキャナー、バーコードリーダー、デジタルカメラ

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青板フロートガラスや光学白板ガラス、パイレックスガラス等の平板ガラスにR、G、BのダイクロイックミラーコートやUV・IRカットコートを施した誘電体多層膜製品です。基板は平板ガラスだけでなくフライアイレンズ（マルチレンズ）やシリンドリカルレンズにもコーティング可能です。客先の仕様に合わせて透過光の50％波長位置を合わせたコーティングの設定など、ニーズに合わせた光学膜設計を施すことができます。

◆商品説明図

◆仕　様

●表面

ダイクロイックミラーやUV・IRカットフィルターなど

●裏面

多層反射防止膜

●透過率

（例）λ=440～670nm

i）	UVカット、IRカット=96％以上
ii）	UV・IRカット=94％以上

●半値幅

±3nm

◆用　途

液晶プロジェクター

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誘電体多層膜製品は光線の入射角度により光学特性が著しく変化します。
例えばダイクロイックフィルター（ミラー）の場合、ある角度を持って入射し、フィルター（ミラー）を透過した光は下図1のように射出光に色ムラが発生します。特に画像機器や液晶プロジェクター用途ではこのような色ムラが直接画像の色に影響を及ぼすため、この色ムラを均一に補正する必要が出てきます。このような問題を解決したのが下図2の傾斜機能付ダイクロイックフィルター（ミラー）です。

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弊社では従来からのコーティング技術に加え、射出成形法によるレンズ、ミラー等樹脂製光学部品の製造を行っております。
本技術により、樹脂成形加工からコーティング加工まで一貫して行うことが可能となります。

◆各種樹脂製光学部品

●	球面レンズ及び非球面レンズ
●	プリズム
●	球面ミラー、平面ミラー
●	フレネルレンズ

◆コーティング可能な光学薄膜

●	ダイクロイックコート
●	高反射ミラー
●	IRカットフィルター
●	反射防止膜
●	その他各種多層膜品

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