アークプラズマガンの先端から金属を蒸着させて基板にコーティングする技術です。高真空中で蒸着することができることや、蒸着原料を溶融させないので基板が加熱されない特徴があります。また、高融点金属の蒸着ができ、デジタル制御でオングストローム単位の膜圧制御が可能なため、超薄膜の連続多層膜加工ができます。2元素、3元素等の合金膜も蒸着可能です。OHP用光学部品や次世代カーナビ用の表示装置用薄膜への応用展開が期待されます。