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製造・加工 機能膜

Graphit-iC™(DLC)

 

硬質カーボンと金属の積層構造を有するDLCコーティング

 

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Graphit-iC™とは英国TEER社が独自開発した硬質カーボンと金属を積層したマルチレイヤー構造を有するDLCコーティングの呼称です。

Graphit-iC™はTEER社独自の閉磁場非平衡マグネトロンスパッター方式(図1.CFUBMSIP) で成膜することにより緻密で優れた密着性、耐摩耗性、低摩擦係数などの特長を有する水素フリータイプのDLCコーティングです。
機械部品、自動車部品、工具、金型などの摺動性UP、耐摩耗性UP、長寿命化など様々な用途で使用されています。

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量産装置例

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図1.※CFUBMIP : Close Field UnbalancedMagnetron Sputter Ion Plating system

 

Graphit-iC™とはTEER社が開発した硬質カーボンと金属を積層したマルチレイヤー構造を有するDLCコーティングの呼称です。

TEER社独自の閉磁場非平衡マグネトロンスパッター方式(CFUBMSIP) コーティングシステムにより緻密で優れた耐摩耗性、低摩擦係数を有する水素フリータイプのDLCコーティングを提供します。
中間層としてカーボンと金属の傾斜組成層を有するため基材との優れた密着性、耐荷重性を付与することが可能となります。

使用環境としては大気中、オイル中、水中、高湿度中など広範囲の環境下で使用することが可能です。(図2)
機械部品、自動車部品、工具、金型などの摺動性UP、耐摩耗性UP、長寿命化など様々な用途で使用されています。(図3)

dlchyou1図2.条件別摺動テスト
dlchyou2図3.無潤滑ドリルテスト結果

特長

摩擦係数 0.05~0.12と非常に低い値を示します。特に水中では0.05、オイル中では0.09と低い値を示します。
密着性 スクラッチ試験による臨界荷重値は70N以上を示します。
硬さ マイクロビッカースによる測定値は1500~2000Hvを示します。
耐熱温度 350℃まで優れた摺動性を示します。
膜厚 1.5~2.5μm(傾斜組成層を含む)
表面抵抗 0.1~0.2Ω 導電性を有する。
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