【お問い合わせ内容】

Si系酸化物微粒子へのSiO2コーティング検討依頼。

要求仕様

• <基材：Si系酸化物微粒子（φ数μm）/li>
• 成膜：SiO2（膜厚数十nm）

提案内容

上記要求仕様を満たす成膜を提案。

結果

Si系酸化物微粒子にSiO2コーティング（膜厚数十nm）を行い納入。

実績

研究用途に使用。