【お問い合わせ内容】

ITO、Au櫛型電極パターニングの検討依頼。

要求仕様

• 基材：ガラス（20×30mm）
• 成膜：ITO（膜厚300nm）、Au(膜厚100nm)
• パターニング(L/S)：5μm,10μm,20μm,50μm,100μm,200μm

提案内容

上記要求仕様を満たす成膜、パターニングを提案。

結果

ガラス基板上にITO、Au櫛型電極パターニングを行い納入。

実績

研究用途に使用。